リークディテクター（アルバック）【HELIOT 901W1】

【スペック】

検出ガス		4He, 2H2
最小可検リーク量 (4He)[Pa・m3/sec]		<5E-13
リーク量表示範囲 Pa・m3/sec]	4He	0.01E-12～E-3台
	2H2	0.01E-8～E-5台
テストポート排気速度 (4He)[L/sec]		5
最大接続圧力[Pa]		<1200
主排気ポンプ[L/sec]		ターボ分子ポンプ：31
粗引きポンプ 排気速度(50Hz/60Hz)[L/min]		油回転:30/36